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成膜压力上升如何解决?

水鱼 发表于 2014-7-22 11:23:01 | 显示全部楼层 [复制链接]
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正常成膜压力是1.8E-2pa,但是现在变成了3.2E-2pa,找了很多位置,都不知道是什么原因,求各位大师指点.

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发表于 2014-7-22 11:21:47 | 显示全部楼层

压强仪换了新的还是不行

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发表于 2014-7-22 11:23:01 | 显示全部楼层
抽真空速度变慢了吗?以前测的极限真空能不能达到?
很像是漏气。不过比如说冷阱工作不良也会导致类似情况出现。
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