设为首页收藏本站热门导读

光电论坛

 找回密码
 立即注册

白光干涉仪的工作原理和测量应用

szzhongtu5 发表于 2017-12-1 16:02:27 | 显示全部楼层 |阅读模式 [复制链接]
0 817
  白光干涉仪目前在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一,在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜,在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域,除了白光干涉仪,其它的仪器无法达到其加工精度要求。
file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image002.jpg
光学显微干涉测量的基本原理:
  光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光最终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
白光干涉仪的测量应用:
  以测量单刻线台阶为例,在检查仪器的各线路接头都准确插入对应插孔后,开启仪器电源开关,启动计算机,将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置,先手动调整载物台大概位置,对准白光干涉仪目镜的下方。
file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image004.jpg
  在计算机上打开SuperView W1光学3D表面轮廓仪测量软件,在软件界面上设置好目镜下行的最低点,再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离,调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳,此时设置好要扫描的距离。按开始按钮,光学3D表面轮廓仪可自动进行扫描测量,测量完成后,软件自动生成3D图像,测量人员可以对3D图像进行数据分析,获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。
file:///C:/Users/ztxs006/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image006.jpg
  光学3D表面轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能全面、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高效率检测。光学3D表面轮廓仪独有的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。




回复

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册

本版积分规则

  • 回复
  • 转播
  • 评分
  • 分享
热门幻灯更多
  • 苹果有点无语!欧盟强制
  • 忆当年:我也曾在电烙铁
  • 拿到几份电子工程师招聘
  • 未来MacBook的触摸板,
  • 机器人充电站:能识别电
精彩推荐更多

QQ|Archiver|手机版|小黑屋|光电论坛 ( 鄂ICP备11013139号-2  

GMT+8, 2018-9-24 00:07 , Processed in 0.268032 second(s), 25 queries .

Powered by Discuz! X3.2  Template by:光粒网

© 2001-2022 www.oeworld.cn

快速回复 返回顶部 返回列表