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光学轮廓仪的测量原理

szzhongtu5 发表于 2017-8-2 14:55:50 | 显示全部楼层 |阅读模式 [复制链接]
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SuperView W11200光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。
SuperView W1 1200光学3D轮廓测量仪.jpg
SuperView W11200光学3D表面轮廓仪只需操作者装好被测器件,在软件测量界面上设置好视场参数,调整镜头到接近器件表面,选择自动聚焦,仪器会对器件表面进行自动对焦并找到干涉条纹,调节好干涉条纹宽度后即可开始进行扫描测量;扫描结束后,软件分析界面自动生成器件3D图像,操作者可通过软件对生成的3D形貌进行数据处理与分析,获取表征器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。
SuperViewW1 1200 光学3D表面轮廓仪采用光学非接触式测量方法,它具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点,其独特的光源模式,保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。
系统软件为简体中文操作系统,操作方便。
一、    应用功能
1.行业领域和应用对象
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例:
光学1.jpg
光学2.jpg
软件功能:
(1) 提供多种数据处理方式。
提供校平、镜像、旋转等操作调整图像位置;
提供空间滤波、标准滤波、阈值纠正、去除形状、频谱变换等滤波操作对数据进行修正;
提供提取区域、提取剖面、抽取轮廓等操作获取检测区域。
(2) 提供多种分析工具。
提供距离、台阶高度等要素测量;
提供点、线、圆弧、角度等特征测量,以及直线度、真圆度等形位公差评定,为用户展现强大的轮廓分析功能;
提供基于表面的纹理分析,方便地观察纹理方向与纹理均质性;
提供图形分析、岛屿分析、分形分析、顶点计数、孔的体积等多种有针对性的分析功能;
提供频谱分析功能,可获取幅度和相位信息、平均功率谱密度信息、自相关性等;
提供全面的线粗糙度、面粗糙度的参数分析功能;




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